帯電防止タイプ
クリーン度クラス10対応です。
特長1 アクチュエータの部材をすべて導電化し、静電気の帯電を防止
特長2クリーン度クラス10対応
IS(P)DBCR-ESDシリーズ概略仕様
タイプ | 最大 ストローク |
最大水平 可搬質量 |
最大垂直 可搬質量 |
最大速度 | 繰り返し 位置決め精度 |
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ISDBCR-ESD | 1300 mm | 120 kg | 40 kg | 1800 mm/s | ±0.01mm |
ISPDBCR-ESD | 1300 mm | 120 kg | 40 kg | 1800 mm/s | ±0.005mm |
- ※本ページの仕様はシリーズ全体のスペックから最大値を記載したものです。要求仕様の組合せによっては最大値の表示を満たさない場合があります。
- ※詳細情報はカタログ(PDFファイル)をご覧下さい。