メインスペック
| 項目 | 内容 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| リード | ボールねじリード（mm） | 30 | 20 | 10 | 5 | |
| 水平 | 可搬質量 | 最大可搬質量（kg） | 23 | 35 | 70 | 80 |
| 速度/加減速度 | 最高速度（mm/s） | 1200 | 975 | 450 | 225 | |
| 最低速度（mm/s） | 38 | 25 | 13 | 7 | ||
| 定格加減速度（G） | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | ||
| 最高加減速度（G） | 1 | 1 | 0.5 | 0.3 | ||
| 垂直 | 可搬質量 | 最大可搬質量（kg） | 2 | 4 | 25 | 55 |
| 速度/加減速度 | 最高速度（mm/s） | 850 | 650 | 450 | 225 | |
| 最低速度（mm/s） | 38 | 25 | 13 | 7 | ||
| 定格加減速度（G） | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | ||
| 最高加減速度（G） | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.3 | ||
| 押付け | 押付け時最大推力（N） | 78 | 103 | 235 | 470 | |
| 押付け最高速度（mm/s） | 38 | 25 | 20 | 20 | ||
| クリーンルーム仕様 | 吸引量（NL/min）（注5） | 115 | 85 | 75 | 30 | |
| ブレーキ | ブレーキ仕様 | 無励磁作動電磁ブレーキ | ||||
| ブレーキ保持力（kgf） | 2 | 4 | 25 | 55 | ||
| ストローク | 最小ストローク（mm） | 350 | 350 | 350 | 350 | |
| 最大ストローク（mm） | 1100 | 1100 | 1100 | 1100 | ||
| ストロークピッチ（mm） | 50 | 50 | 50 | 50 | ||
（注5） 最高速度時における吸引量の目安です。
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 駆動方式 | ボールねじ φ16mm 転造C10 |
| 繰返し位置決め精度 | リード5/10：±0.02mm、リード20：±0.03mm、リード30：±0.04mm |
| ロストモーション | －（2点間位置決め機能のため、表記できません。） |
| ベース | 専用アルミ押出材（A6063SS-T6相当） 黒色アルマイト処理 |
| リニアガイド | 直動無限循環型 |
| 静的許容モーメント | Ma：173 N･m |
| Mb：173 N･m | |
| Mc：271N･m | |
| 動的許容モーメント （注6） | Ma：61 N･m |
| Mb：61 N･m | |
| Mc：116N･m | |
| クリーン度 | ISOクラス3（ISO 14644-1規格） |
| 使用周囲温度・湿度 | 0～40℃、85％RH以下（結露なきこと） |
| 保護等級 | IP20 |
| 耐振動・耐衝撃 | 4.9m/s2 |
| 海外対応規格 | CEマーク、RoHS指令 |
| モーター種類 | パルスモーター（□56SP）（電源容量：最大6A） |
| エンコーダー種類 | インクリメンタル／バッテリーレスアブソリュート |
| エンコーダーパルス数 | 800 pulse/rev |
| 納期 | ホームページ［納期照会］に記載 |
（注6） 基準定格寿命5,000kmの場合です。走行寿命は運転条件、取付け状態によって異なります。1-276ページにて走行寿命をご確認ください。
スライダータイプモーメント方向
速度・加速度別可搬質量表
可搬質量の単位はkgです。空欄は動作不可となります。
| 姿勢 | 水平 | 垂直 | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 速度 （mm/s） | 加速度（G） | |||||
| 0.3 | 0.5 | 0.7 | 1 | 0.3 | 0.5 | |
| 0 | 23 | 16 | 13 | 12 | 2 | 1 |
| 200 | 23 | 16 | 13 | 12 | 2 | 1 |
| 450 | 20 | 16 | 13 | 11 | 1 | 1 |
| 650 | 18 | 15 | 12 | 8 | 1 | 1 |
| 850 | 14 | 10 | 7 | 5 | 1 | 1 |
| 1000 | 8 | 6 | 3 | 2 | ||
| 1200 | 4 | 2 | 1 | |||
| 姿勢 | 水平 | 垂直 | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 速度 | 加速度（G） | |||||
| （mm/s） | 0.3 | 0.5 | 0.7 | 1 | 0.3 | 0.5 |
| 0 | 35 | 30 | 25 | 25 | 4 | 4 |
| 200 | 35 | 30 | 25 | 25 | 4 | 4 |
| 300 | 35 | 30 | 25 | 23 | 4 | 4 |
| 400 | 35 | 30 | 23 | 20 | 1 | 1 |
| 650 | 18 | 15 | 8 | 6 | 1 | 1 |
| 800 | 10 | 6 | 2 | 1 | ||
| 900 | 7 | 3 | ||||
| 975 | 4 | 1 | ||||
| 姿勢 | 水平 | 垂直 | ||
|---|---|---|---|---|
| 速度 | 加速度（G） | |||
| （mm/s） | 0.3 | 0.5 | 0.3 | 0.5 |
| 0 | 70 | 70 | 25 | 25 |
| 100 | 70 | 70 | 25 | 25 |
| 200 | 65 | 50 | 20 | 20 |
| 300 | 60 | 30 | 9 | 9 |
| 400 | 25 | 15 | 3 | 2 |
| 450 | 25 | 15 | 3 | |
| 姿勢 | 水平 | 垂直 |
|---|---|---|
| 速度 （mm/s） | 加速度（G） | |
| 0.3 | 0.3 | |
| 0 | 80 | 55 |
| 50 | 80 | 55 |
| 75 | 80 | 30 |
| 135 | 80 | 18 |
| 175 | 70 | 12 |
| 200 | 50 | 6 |
| 225 | 20 | 1 |
ストロークと最高速度
（単位はmm/s）
| リード （mm） | 350～700 （50mmごと） | 750 （mm） | 800 （mm） | 850 （mm） | 900 （mm） | 950 （mm） | 1000 （mm） | 1050 （mm） | 1100 （mm） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 30 | 1200＜850＞ | 1160＜850＞ | 1040＜850＞ | 940＜850＞ | 860＜850＞ | 780 | 720 | 660 | |
| 20 | 975＜650＞ | 880＜650＞ | 780＜650＞ | 700＜650＞ | 640 | 580 | 530 | 480 | 440 |
| 10 | 450 | 430 | 380 | 340 | 310 | 280 | 260 | 240 | 220 |
| 5 | 225 | 215 | 190 | 170 | 150 | 140 | 130 | 115 | 110 |
（注） ＜ ＞内は垂直使用の場合です。
押付け力と電流制限値の相関図
適応コントローラー
（注） ECシリーズはコントローラー内蔵です。内蔵コントローラーの詳細は、2-769ページをご確認ください。
海外規格
選定上の注意
 | （1）ストロークが長くなると、ボールねじの危険回転数の関係から最高速度が低下します。「ストロークと最高速度」にて希望するストロークの最高速度をご確認ください。 （2）「メインスペック」の可搬質量は最大値を表記しています。詳細は「速度・加速度別可搬質量表」をご参照ください。 （3）押付け動作を行う場合は「押付け力と電流制限値の相関図」をご参照ください。押付け力は目安の値です。注意点は1-315ページをご確認ください。 （4） 使用周囲温度によって、デューティー比の制限が必要です。詳細は1-326ページをご参照ください。 （5）取付け姿勢によっては注意が必要です。詳細は1-307ページをご確認ください。 （6）張出し負荷長の目安は、Ma・Mb・Mc方向400mm以下です。張出し負荷長については2-109ページの説明をご確認ください。 （7）取付け物体の重心位置は、張出し距離の1/2以下としてください。張出し距離や負荷モーメントが許容値内であっても、動作中に異常な振動や音などが発生する場合は、動作条件を緩めてご使用ください。 （8）RCON-EC接続仕様（ACR）をEC接続ユニット（RCON-EC-4）へ接続する場合、接続可能数に制限があります。詳細は2-798ページをご確認ください。 |
寸法図
ST：ストローク
M.E.：メカニカルエンド
S.E.：ストロークエンド
（注） 原点復帰を行った場合は、スライダーがM.E.まで移動しますので周囲との干渉にご注意ください。
（注） 取付けボルト長にご注意ください。ベース裏面の取付けねじを使用する場合、ボルトが長いと内部部品に干渉し、摺動異常や部品破損の可能性があります。
（注） ベースの通し穴を用いてアクチュエーターを固定する場合は、サイドカバー、ステンレスシートを取外す必要があります。
ストローク別寸法
| ストローク | 350 | 400 | 450 | 500 | 550 | 600 | 650 | 700 | 750 | 800 | 850 | 900 | 950 | 1000 | 1050 | 1100 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| L | ブレーキ無し | 773.5 | 823.5 | 873.5 | 923.5 | 973.5 | 1023.5 | 1073.5 | 1123.5 | 1173.5 | 1223.5 | 1273.5 | 1323.5 | 1373.5 | 1423.5 | 1473.5 | 1523.5 |
| ブレーキ有り | 831.5 | 881.5 | 931.5 | 981.5 | 1031.5 | 1081.5 | 1131.5 | 1181.5 | 1231.5 | 1281.5 | 1331.5 | 1381.5 | 1431.5 | 1481.5 | 1531.5 | 1581.5 | |
| A | 593.5 | 643.5 | 693.5 | 743.5 | 793.5 | 843.5 | 893.5 | 943.5 | 993.5 | 1043.5 | 1093.5 | 1143.5 | 1193.5 | 1243.5 | 1293.5 | 1343.5 | |
| B | 530 | 580 | 630 | 680 | 730 | 780 | 830 | 880 | 930 | 980 | 1030 | 1080 | 1130 | 1180 | 1230 | 1280 | |
| D | 4 | 5 | 5 | 6 | 6 | 7 | 7 | 8 | 8 | 9 | 9 | 10 | 10 | 11 | 11 | 12 | |
| E | 10 | 12 | 12 | 14 | 14 | 16 | 16 | 18 | 18 | 20 | 20 | 22 | 22 | 24 | 24 | 26 | |
| G | 4 | 5 | 5 | 6 | 6 | 7 | 7 | 8 | 8 | 9 | 9 | 10 | 10 | 11 | 11 | 12 | |
| H | 10 | 12 | 12 | 14 | 14 | 16 | 16 | 18 | 18 | 20 | 20 | 22 | 22 | 24 | 24 | 26 | |
| J | 280 | 380 | 380 | 480 | 480 | 580 | 580 | 680 | 680 | 780 | 780 | 880 | 880 | 980 | 980 | 1080 | |
| K | 300 | 400 | 400 | 500 | 500 | 600 | 600 | 700 | 700 | 800 | 800 | 900 | 900 | 1000 | 1000 | 1100 | |
ストローク別質量
| ストローク | 350 | 400 | 450 | 500 | 550 | 600 | 650 | 700 | 750 | 800 | 850 | 900 | 950 | 1000 | 1050 | 1100 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 質量 （kg） | ブレーキ無し | 6.4 | 6.7 | 7.0 | 7.3 | 7.6 | 7.9 | 8.2 | 8.5 | 8.8 | 9.1 | 9.4 | 9.7 | 10.0 | 10.3 | 10.6 | 10.9 |
| ブレーキ有り | 6.7 | 7.0 | 7.3 | 7.6 | 7.9 | 8.2 | 8.5 | 8.8 | 9.1 | 9.4 | 9.7 | 10.0 | 10.3 | 10.6 | 10.9 | 11.2 | |