クリーン仕様

製品仕様

クリーン仕様

ISOクラス2.5、3、3.5(ISO 14644-1規格) 対応のクリーンルーム向けのアクチュエーターです。

クリーン仕様製品一覧

スライダータイプ
ロッドタイプ
ロータリータイプ
グリッパータイプ
スカラロボット